O forno de recozimento rápido adota um sistema de controle de microcomputador avançado e controle de temperatura de circuito fechado PID, o que pode atingir alta precisão de controle de temperatura e uniformidade de temperatura, e pode ser equipado com câmara de vácuo ou gás multicanal de acordo com os requisitos do processo do usuário.
O forno de recozimento rápido usa uma lâmpada infravermelha halógena como fonte de calor para aquecer rapidamente wafers ou materiais a 300 graus -1200 graus por meio de uma taxa de aquecimento mais rápida, eliminando assim alguns defeitos de wafers ou materiais e melhorando o desempenho do produto.
O forno de recozimento rápido (equipamento de tratamento térmico de chip) é amplamente utilizado na produção de wafers IC, wafers LED, MEMS, semicondutores compostos, dispositivos de energia e outros produtos de chip, bem como liga rápida de contato ôhmico, recozimento de implantação de íons, crescimento de óxido, alívio de tensão em densificação, densificação e outros processos. O tratamento térmico rápido é usado para melhorar a estrutura cristalina e as propriedades fotoelétricas, com alto índice técnico, processo complexo e forte especificidade.
Substituição rápida de hardware do forno de recozimento
1, a substituição da lâmpada de aquecimento: a lâmpada de aquecimento excede a vida útil ou não é brilhante precisa ser substituída. A vida útil da lâmpada de aquecimento é de 3000 horas, e sua vida útil será reduzida em altas temperaturas.
2, substituição de óleo da bomba de vácuo: durante o uso, observe o medidor de óleo de vácuo uma vez por trimestre. Quando o medidor de óleo mostrar que o nível de óleo é menor que 1/3, adicione o óleo da bomba de vácuo a mais da metade do medidor de óleo.
3, substituição do termopar: quando a temperatura estiver anormal ou danificada, o termopar precisa ser substituído. A vida útil normal do termopar é de 3 meses, e sua vida útil é encurtada por fatores ambientais.
4. Substitua o O-ring: Quando a superfície do O-ring estiver obviamente danificada ou não puder ser selada, o O-ring precisa ser substituído. Sua vida útil é afetada por fatores de força externa e temperatura.