I. Visão geral do produto
Esta estação de sonda criogênica (opcional: alta temperatura, baixa temperatura, vácuo, campo magnético) é uma plataforma experimental multifuncional de alta precisão projetada para testar as propriedades elétricas e magnéticas de materiais semicondutores, dispositivos micro-nano, materiais magnéticos, dispositivos spintrônicos e campos técnicos relacionados.
II. Principais Características
1. Plataforma experimental de alta precisão: A estação de sondagem possui um braço de sondagem com deslocamento de alta precisão, que pode operar e testar com precisão amostras minúsculas.
2. Configuração multifuncional: De acordo com as necessidades do usuário, alta temperatura, baixa temperatura, vácuo, campo magnético e outras configurações podem ser selecionadas para atender às necessidades de vários ambientes experimentais complexos.
3. Campo magnético de alta estabilidade: por meio de um sistema de campo magnético cuidadosamente projetado combinado com uma fonte de alimentação de corrente constante bipolar de alta precisão, a alta estabilidade do campo magnético é garantida.
4. Projeto do estágio de deslocamento: O estágio de deslocamento é equipado com uma vedação de fluido magnético para obter movimento bidimensional e rotação de 360-graus do estágio da amostra na direção horizontal, e a operação é flexível e conveniente.
5. Observação microscópica: Equipado com um microscópio eletrônico de alta precisão, é conveniente para os usuários observar e operar pequenas amostras em detalhes.
III. Campos de aplicação
Esta estação de sondagem é amplamente utilizada nas áreas da indústria de semicondutores, sistemas microeletromecânicos, supercondutividade, eletrônica, ferroeletrônica, física, ciência dos materiais e biomedicina, incluindo, mas não se limitando a:
Teste de desempenho magnético
Teste de desempenho de micro-ondas
Teste de desempenho de CC e RF
Teste de desempenho MEMS
Teste de desempenho supercondutor
Teste de desempenho fotoelétrico de nanocircuitos, pontos quânticos e fios
Teste de chip em ambiente de vácuo de alta e baixa temperatura
Teste de material
Teste de Hall
Teste de desempenho de transporte eletromagnético, etc.
Ⅳ. Acessórios opcionais
Para atender às necessidades de diferentes usuários, fornecemos uma série de acessórios opcionais, incluindo:
Várias sondas DC, sondas de alta frequência, sondas ativas
Dispositivo de imagem de vídeo CCD ou C-MOS com fio
Sistema eletroímã de dispositivo de movimento de ventosa/sistema de ímã supercondutor
Atualização do sistema de pressão positiva de 1Mpa
Opção de atualização de temperatura ultra-alta
Opção de atualização de vácuo ultra-alto
Vários acessórios de sonda
Mesa antivibração caixa blindada
Adaptador
Bomba de vácuo silenciosa, etc.
Parâmetros
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Estação de sondagem de campo magnético a vácuo de alta e baixa temperatura |
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Modelo |
DXTPS1 |
DXTPS2 |
DXTPS3 |
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Grau de vácuo |
Vácuo máximo 10-8Pa |
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Material da cavidade |
Aço inoxidável não magnético ou liga de alumínio |
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Alcance do campo magnético |
2000Gs a 50mm |
5000Gs a 50mm |
1T a 50 mm |
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Direção do campo magnético |
horizontal (pode ser projetado de acordo com os requisitos do usuário na direção vertical) |
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Fonte de energia |
Fonte de alimentação bipolar ± 50A |
Fonte de alimentação bipolar ± 70A |
Fonte de alimentação bipolar ± 90A |
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Estabilidade da fonte de alimentação |
50ppm opcional 10ppm |
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Modo de refrigeração |
Refrigeração de hélio líquido/nitrogênio líquido/refrigerador de ciclo fechado |
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Faixa de temperatura |
5 K-325K opcional 500K |
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Faixa de temperatura |
65 K-325K opcional 600K |
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Resolução de controle de temperatura |
0.001K controlador de temperatura relacionado |
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Estabilidade de temperatura |
melhor que 0.1K dependendo do controlador de temperatura |
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Sensor de temperatura |
diodo de silício/PT 100 |
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Sensores |
Uma mesa de amostra, uma tela de radiação e um braço de sonda. |
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Tamanho da tabela de amostra (máx.) |
Φ50mm, planicidade menor ou igual a u7m |
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Método de fixação de mesa de amostra |
Prensas de graxa de silicone a vácuo/mola |
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Material de mesa de amostra |
cobre livre de oxigênio banhado a ouro |
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Viagem de microscópio |
Plano X, Y 2*2 polegadas, precisão 1um, curso do eixo Z maior ou igual a 50,8 mm |
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Ampliação |
16 ~ 100X/20 ~ 4000X |
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Tamanho da janela de observação da câmara de vácuo |
1 polegada |
1,5 polegada |
2 polegadas |
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Materiais para janelas |
sílica fundida (opcional K9, fluoreto de cálcio, etc.) |
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Número de braços de sonda |
2, 4, 6, 8 opcional |
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Viagem do braço da sonda |
25 mm-25mm-12mm substituível |
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Precisão mecânica |
10um/ 2um/ 1um/ 0,7um |
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Formulário de interface |
Junta de vácuo comum/junta coaxial tripla/BNC/SMA, etc. |
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Diâmetro da sonda |
0.51 mm |
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Diâmetro da ponta da agulha |
10um/ 5um/ 1um opcional |
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Material da sonda |
Tungstênio/GGB |
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Tensão de alimentação |
CA 220 V 50 Hz/60 Hz |
CA380 V 50 Hz/60 Hz |
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Confirmação de parâmetros antes da compra:
O número máximo de polegadas de wafers ou dispositivos que precisam ser testados; se é necessário testar fragmentos ou chips individuais; o menor tamanho de chip individual;
Qual é o requisito de precisão mecânica da estação de sondagem;
O tamanho do eletrodo da amostra de medição pontual; almofada de 100μm*100μm ou 60μm*60μm, ou a mini almofada feita pela FIB, ou o circuito de metal dentro do ic;
São necessárias no máximo várias sondas para medição pontual ao mesmo tempo;
Se o teste do cartão de sondagem será usado;
Qual é a resolução mínima necessária do microscópio óptico;
Em termos de microscopia, é necessário adicionar um polarizador para detecção de ponto de acesso de cristal líquido LC;
Se o requisito de corrente atinge 100fa ou menos durante o teste de ponto de sonda! O requisito de baixa capacitância precisa ser 0,1pf; Se há um requisito de radiofrequência;
Quais são as interfaces dos instrumentos de teste conectados;
Se aquecimento ou resfriamento é necessário ao testar o ambiente! Se uma cavidade fechada é necessária;
E quanto aos requisitos de vazamento do mandril; Você precisa adicionar um mandril de baixa impedância;
Se é necessária uma mesa antichoque;
Se você adicionar uma mesa à prova de choque, se houver ar comprimido.
Mais fotos da Estação de Sonda Criogênica




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Perguntas frequentes
Pergunta 1: Quais são as características das sondas de vácuo de alta e baixa temperatura para capacidades de microobservação e geração de imagens?
Responder:
1. Alta resolução: A mesa de sonda é equipada com um sistema de microscópio de alta resolução que pode observar a aparência e a estrutura da superfície da amostra em tempo real. Isso é vital para as características de aparência, análise de defeitos e representação de material de dispositivos de pesquisa.
2. Capacidades de geração de imagens: Os sistemas de microscópio geralmente têm uma variedade de modos de geração de imagens, como geração de imagens ópticas, geração de imagens eletrônicas, etc., para atender a diferentes amostras e necessidades experimentais. Esses padrões de geração de imagens podem fornecer informações ricas de imagem e ajudar os pesquisadores a entender a natureza da amostra.
Pergunta 2: Quais são as funções do software de coleta e análise de dados em sondas de vácuo de alta e baixa temperatura?
Responder:
1. Coleta em tempo real: A mesa de sondagem precisa ser equipada com software avançado de coleta e análise de dados para obter coleta em tempo real de dados elétricos, micro e de análise de materiais.
2. Processamento e análise: O software de coleta de dados geralmente tem múltiplas funções de processamento e análise de dados, como processamento de imagens, ajuste de dados e reconstrução tridimensional.
Pergunta 3: Quais são as características das sondas de vácuo de alta e baixa temperatura em termos de microobservação e capacidades de geração de imagens?
Responder:
Alta resolução: A mesa de sonda é equipada com um sistema de microscópio de alta resolução que pode observar a aparência e a estrutura da superfície da amostra em tempo real. Isso é vital para as características de aparência, análise de defeitos e representação de material de dispositivos de pesquisa.
Capacidades de geração de imagens: Os sistemas de microscópio geralmente têm uma variedade de modos de geração de imagens, como geração de imagens ópticas, geração de imagens eletrônicas, etc., para atender a diferentes amostras e necessidades experimentais.












